JC/T 2064—2011
半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒
1 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒(以下簡(jiǎn)稱石英玻璃棒)的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學(xué)工業(yè)用透明石英玻璃棒也可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T 3284 石英玻璃化學(xué)成分分析方法 GB/T 4121 石英玻璃熱變色性試驗(yàn)方法 GB/T 10701—2008 石英玻璃熱穩(wěn)定性試驗(yàn)方法 GB/T 12442 石英玻璃中羥基含量檢驗(yàn)方法 JC/T 597—2011 半導(dǎo)體用透明石英玻璃管
3 術(shù)語和定義
JC/T 597 界定的術(shù)語和定義適用于本文件。
4 分類和標(biāo)記
4.1 分類
按用途分為太陽能級(jí)石英玻璃棒(T級(jí))和電子級(jí)石英玻璃棒(級(jí))。 4.2 標(biāo)記
產(chǎn)品按分類(T 或 D)、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品規(guī)格、生產(chǎn)批號(hào)、標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)的順序標(biāo)記。
示例∶符合JC/T 2064—2011,直徑為20mm,長(zhǎng)度為1000m,生產(chǎn)批號(hào)為20091221的太陽能級(jí)透明石英玻璃棒標(biāo)記為∶
T-石英玻璃棒-20×100-2009122l-JC/T 2064—2011
5 要求
5.1 規(guī)格尺寸及尺寸公差 5.1.1 直徑及直徑公差
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